文献
J-GLOBAL ID:200902183408873206
整理番号:98A0343169
有機金属化学蒸着によるRuO2薄膜の低温成長と配向制御
Low-temperature growth and orientational control in RuO2 thin films by metal-organic chemical vapor deposition.
著者 (4件):
BAI G-R
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
WANG A
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
FOSTER C M
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
VETRONE J
(Argonne National Lab., IL, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
310
号:
1/2
ページ:
75-80
発行年:
1997年11月21日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)