文献
J-GLOBAL ID:200902183551153915
整理番号:99A0772543
Si上の大面積ダイヤモンド核形成に対する磁気活性マイクロ波CH4/Heプラズマ中の酸素成分の効果
Effect of Oxygen Component in Magneto-Active Microwave CH4/He Plasma on Large-Area Diamond Nucleation over Si.
著者 (4件):
JEON H
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
WANG C
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
HATTA A
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
ITO T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
38
号:
7B
ページ:
4500-4503
発行年:
1999年07月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)