文献
J-GLOBAL ID:200902184031304488
整理番号:98A0385168
低温での反応性スパッタによるTiN/CrN多層膜の高温酸化
High-temperature oxidation of TiN/CrN multilayers reactively sputtered at low temperatures.
著者 (5件):
PANJAN P
(J. Stefan Inst., Ljubljana, SVN)
,
NAVINSEK B
(J. Stefan Inst., Ljubljana, SVN)
,
CVELBAR A
(J. Stefan Inst., Ljubljana, SVN)
,
ZALAR A
(Inst. Surface Engineering and Optoelectronics, Ljubljana, SVN)
,
VLCEK J
(West Bohemia Univ., Plsen, CZE)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
98
号:
1/3
ページ:
1497-1502
発行年:
1998年01月
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)