文献
J-GLOBAL ID:200902184107414350
整理番号:95A0315824
ナノメートルオーダーの粒径を測定する新装置 (第2報) 標準粒子を用いる計測システムの評価
A New Apparatus for Measuring Particle Sizes of the Order of Nanometer. (2nd Report). Evaluation of Measuring System by using Standard Particles.
著者 (8件):
AN H
(Osaka Electrocomunication Univ., Osaka)
,
MORI Y
(Osaka Univ., Osaka)
,
KATAOKA T
(Osaka Univ., Osaka)
,
ENDO K
(Osaka Univ., Osaka)
,
INAGAKI K
(Mikaukuto Co., Ltd., Osaka)
,
YAMAMURA K
(Osaka Univ., Osaka)
,
YAMAUCHI K
(Osaka Univ., Osaka)
,
FUKUIKE T
(Osaka Electrocomunication Univ., Osaka)
資料名:
International Journal of the Japan Society for Precision Engineering
(International Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻:
28
号:
4
ページ:
356-361
発行年:
1994年12月
JST資料番号:
Z0715A
ISSN:
0916-782X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)