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著者 (2件)：
資料名：
巻： 54 号： 1/3 ページ： 135-138 発行年： 1998年07月
JST資料番号： E0934A ISSN： 0254-0584 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902184324216001
整理番号：98A0669463
プラズマ源イオン注入による三次元基板中への窒素イオンの注入
Nitrogen ion implantation into three-dimensional substrates by plasma source ion implantation.
BABA K
(Technol. Center of Nagasaki, Nagasaki, JPN)
,
HATADA R
(Technol. Center of Nagasaki, Nagasaki, JPN)
資料名：
Materials Chemistry and Physics
(Materials Chemistry and Physics)
巻： 54 号： 1/3 ページ： 135-138 発行年： 1998年07月
JST資料番号： E0934A ISSN： 0254-0584 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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