文献
J-GLOBAL ID:200902184634277922
整理番号:96A0973634
大直径シリコン単結晶中の酸素濃度分布へのつるぼと結晶の回転の影響
Influence of crucible and crystal rotation on oxygen-concentration distribution in large-diameter silicon single crystals.
著者 (3件):
KANDA I
(Nippon Steel Corp., Yamaguchi Pref., JPN)
,
SUZUKI T
(Process Technol. Res. Lab., Chiba Pref., JPN)
,
KOJIMA K
(NSC Electron Corp., Yamaguchi Pref., JPN)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
166
号:
1/4
ページ:
669-674
発行年:
1996年09月
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)