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J-GLOBAL ID:200902184750871963   整理番号:99A0948308

ダイヤモンドの化学気相蒸着プロセス中のPt層を用いる埋め込みダイヤモンド層へのOhm接触の作製

Fabrication of ohmic contacts to buried diamond layers using Pt layer in the diamond chemical-vapor-deposition process.
著者 (2件):
WANG C
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
ITO T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)

資料名:
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

巻: 75  号: 13  ページ: 1920-1922  発行年: 1999年09月27日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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