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著者 (2件)：
資料名：
巻： 266/269 号： Pt.A ページ： 146-149 発行年： 2000年05月
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902185201966908
整理番号：00A0658809
スパッタリングによるアモルファスシリコンの高圧下の水中煮沸による後水素化
Post hydrogenation of sputtered amorphous silicon by pressurized water boiling.
SAKAMOTO N
(Iwaki Meisei Univ., Fukushima, JPN)
,
OHMURA Y
(Iwaki Meisei Univ., Fukushima, JPN)
資料名：
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻： 266/269 号： Pt.A ページ： 146-149 発行年： 2000年05月
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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