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著者 (6件)：
資料名：
巻： 18 号： 3 ページ： 840-848 発行年： 2000年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902185429969249
整理番号：00A0535729
方位対称表面波励起による大直径マイクロ波プラズマ源
Large-diameter microwave plasma source excited by azimuthally symmetric surface waves.
TUDA M
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
ONO K
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
OOTERA H
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
TSUCHIHASHI M
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
HANAZAKI M
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
KOMEMURA T
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 18 号： 3 ページ： 840-848 発行年： 2000年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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