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著者 (3件)：
資料名：
巻： 390 号： 1/2 ページ： 76-82 発行年： 2001年06月30日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902186060518163
整理番号：01A0667819
大面積で均一の塵あいフリープラズマCVD
Large-area uniform dust-free plasma CVD.
FUJIYAMA H
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
MAEMURA Y
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
YAMAGUCHI T
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 390 号： 1/2 ページ： 76-82 発行年： 2001年06月30日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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