文献
J-GLOBAL ID:200902186390032712
整理番号:93A0912327
力,加速度およびアコースティックエミッションを感知する窒化アルミニウム薄膜センサ
Aluminum nitride thin film sensor for force, acceleration, and acoustic emission sensing.
著者 (4件):
ZHENG L
(Univ. Minnesota, Minnesota)
,
RAMALINGAM S
(Univ. Minnesota, Minnesota)
,
SHI T
(Univ. Minnesota, Minnesota)
,
PETERSON R L
(Univ. Minnesota, Minnesota)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
11
号:
5
ページ:
2437-2446
発行年:
1993年09月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)