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著者 (5件)：
資料名：
巻： 19 号： 6 ページ： 2262-2267 発行年： 2001年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902186967907799
整理番号：02A0173261
数平方センチメートルの微小Brunauer-Emmett-Teller表面積を測定するための自動Xe吸着技術
Automated Xe adsorption technique to measure small Brunauer-Emmett-Teller surface area of several square centimeters.
YANAZAWA H
(Assoc. Super-Advanced Electronics Technol.(ASET), Yokohama, JPN)
,
FURUKAWA R
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
YAMAMOTO S
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
SUZUKI I
(Utsunomiya Univ., Utsunomiya, JPN)
,
MIURA K
(Tsuyama National Coll. Technol., Tsuyama, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 19 号： 6 ページ： 2262-2267 発行年： 2001年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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