文献
J-GLOBAL ID:200902186985143550
整理番号:02A0568931
時空間閉じ込め型クラスター源を用いて発生した狭いサイズ分布のシリコンクラスタービーム
Narrow size-distributed silicon cluster beam generated using a spatiotemporal confined cluster source.
著者 (9件):
IWATA Y
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
KISHIDA M
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
MUTO M
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
YU S
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
SAWADA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUKUDA A
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
TAKIYA T
(Hitachi Zosen Corp., Osaka, JPN)
,
KOMURA A
(Hitachi Zosen Corp., Osaka, JPN)
,
NAKAJIMA K
(Kohshien Kinzoku Corp., Nishinomiya, JPN)
資料名:
Chemical Physics Letters
(Chemical Physics Letters)
巻:
358
号:
1/2
ページ:
36-42
発行年:
2002年05月24日
JST資料番号:
B0824A
ISSN:
0009-2614
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)