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資料名：
号： 288 ページ： 158-159 発行年： 1999年10月22日
JST資料番号： Z0850A 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902187383511059
整理番号：00A0060713
スピンコーティング法による自己組織化シリカ薄膜の形成とメソ構造制御
Formation and mesostructure control of self-organized silica thin film by spin coating method.
遠藤明
(物質工学工技研)
,
中岩勝
(物質工学工技研)
,
秋谷鷹二
(物質工学工技研)
,
大輪優
(物質工学工技研)
,
藤原一郎
(物質工学工技研)
,
中根尭
(物質工学工技研)
資料名：
日本産業技術振興協会技術資料
号： 288 ページ： 158-159 発行年： 1999年10月22日
JST資料番号： Z0850A 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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