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著者 (1件)：
資料名：
巻： 45 号： 6 ページ： 283-287 発行年： 2001年06月01日
JST資料番号： L0473A ISSN： 0914-2703 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902187733843645
整理番号：01A0595705
マイクロマシニング・ファブリケーション 均一に配列させたマイクロ多刃工具による仕上げ加工の可能性 異方性エッチングによるマイクロ多刃工具からMAGIC砥石へ
Possibility of a New Finishing Method with Well-Arranged Micro-Asperity Arrays. A Well-Arranged Micro-Asperity Arrays by Anisotropic Etching and a MAGIC Tool.
梅原徳次
(東京都科技大)
資料名：
砥粒加工学会誌
(Abrasive Technology)
巻： 45 号： 6 ページ： 283-287 発行年： 2001年06月01日
JST資料番号： L0473A ISSN： 0914-2703 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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