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文献
J-GLOBAL ID:200902188719472428   整理番号:97A1021129

高品質のSiC化学蒸着に使うその場基板調製

In situ substrate preparation for high-quality SiC chemical vapour deposition.
著者 (7件):
HALLIN C
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
OWMAN F
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
MARTENSSON P
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
ELLISON A
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
KONSTANTINOV A
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
KORDINA O
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
JANZ<span style=text-decoration:overline>E ́</span>N E
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)

資料名:
Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)

巻: 181  号:ページ: 241-253  発行年: 1997年11月 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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