文献
J-GLOBAL ID:200902189430218090
整理番号:94A0780196
Automated Determination of CAD Layout Failures Through Focus: Experiment and Simulation.
著者 (5件):
SPENCE C
(Advanced Micro Devices, CA)
,
NISTLER J
(Advanced Micro Devices, CA)
,
BAROUCH E
(Princeton Univ., NJ)
,
HELLERBACH U
(Princeton Univ., NJ)
,
ORSZAG S
(Princeton Univ., NJ)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
2197
ページ:
302-313
発行年:
1994年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)