文献
J-GLOBAL ID:200902191576449200
整理番号:00A0641937
熱アニーリングをした時の絶縁体上けい素基板上のけい素島状構造の形成
Formation of silicon islands on a silicon on insulator substrate upon thermal annealing.
著者 (5件):
LEGRAND B
(Inst. Electronique et de Microelectronique du Nord, CNRS, Lille, FRA)
,
AGACHE V
(Inst. Electronique et de Microelectronique du Nord, CNRS, Lille, FRA)
,
NYS J P
(Inst. Electronique et de Microelectronique du Nord, CNRS, Lille, FRA)
,
SENEZ V
(Inst. Electronique et de Microelectronique du Nord, CNRS, Lille, FRA)
,
STIEVENARD D
(Inst. Electronique et de Microelectronique du Nord, CNRS, Lille, FRA)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
76
号:
22
ページ:
3271-3273
発行年:
2000年05月29日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)