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資料名：
巻： 42 号： 5 ページ： 563-566 発行年： 1998年09月
JST資料番号： D0061B ISSN： 0018-8646 CODEN： IBMJAE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902191623293795
整理番号：98A0992237
電気化学的微細加工の応用 序言
Applications of electrochemical microfabrication: An introduction.
DATTA M
(IBM Res. Div., New York)
資料名：
IBM Journal of Research and Development
(IBM Journal of Research and Development)
巻： 42 号： 5 ページ： 563-566 発行年： 1998年09月
JST資料番号： D0061B ISSN： 0018-8646 CODEN： IBMJAE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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