文献
J-GLOBAL ID:200902192195855038
整理番号:97A0635168
ブロック共重合体リソグラフィー 1平方センチメートル中の~1011の穴の周期的配列
Block Copolymer Lithography: Periodic Arrays of ~1011 Holes in 1 Square Centimeter.
著者 (5件):
PARK M
(Princeton Univ., NJ, USA)
,
HARRISON C
(Princeton Univ., NJ, USA)
,
CHAIKIN P M
(Princeton Univ., NJ, USA)
,
REGISTER R A
(Princeton Univ., NJ, USA)
,
ADAMSON D H
(Princeton Univ., NJ, USA)
資料名:
Science
(Science)
巻:
276
号:
5317
ページ:
1401-1404
発行年:
1997年05月30日
JST資料番号:
E0078A
ISSN:
0036-8075
CODEN:
SCIEA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)