文献
J-GLOBAL ID:200902193392227126
整理番号:94A0735674
Surface cleaning with the carbon dioxide snow jet.
著者 (3件):
SHERMAN R
(Applied Surface Technologies, New Jersey)
,
HIRT D
(Materials Research Lab., Ohio)
,
VANE R
(XEI Scientific, California)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
12
号:
4 Pt 2
ページ:
1876-1881
発行年:
1994年07月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)