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著者 (2件)：
資料名：
巻： 7 号： 1 ページ： 6-15 発行年： 1998年03月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902193393205991
整理番号：98A0380431
低電圧微細加工トンネル加速度計用のCMOSインタフェイス回路
CMOS Interface Circuitry for a Low-Voltage Micromachined Tunneling Accelerometer.
YEH C
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
NAJAFI K
(Univ. Michigan, MI, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 7 号： 1 ページ： 6-15 発行年： 1998年03月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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