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資料名：
巻： 190 号： 1/4 ページ： 450-454 発行年： 2002年05月08日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902193599650630
整理番号：02A0599370
Cu/Siコンタクト系における薄いナノ結晶ZrN拡散障壁の高性能
High performance of thin nano-crystalline ZrN diffusion barriers in Cu/Si contact systems.
TAKEYAMA M B
(Kitami Inst. Technol., Kitami, JPN)
,
ITOI T
(Kitami Inst. Technol., Kitami, JPN)
,
AOYAGI E
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
NOYA A
(Kitami Inst. Technol., Kitami, JPN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 190 号： 1/4 ページ： 450-454 発行年： 2002年05月08日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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