文献
J-GLOBAL ID:200902194106893617
整理番号:97A0552590
集積回路チップの半導体カプセル化剤用並びに電子用途の耐熱性フォトレジスト用の先進機能性高分子の最近の進歩
Recent Development of Advanced Functional Polymers for Semiconductor Encapsulants of Integrated Circuit Chips and High-temperature Photoresist for Electronic Applications.
著者 (1件):
YODA N
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
資料名:
Polymers for Advanced Technologies
(Polymers for Advanced Technologies)
巻:
8
号:
4
ページ:
215-226
発行年:
1997年04月
JST資料番号:
W0503A
ISSN:
1042-7147
CODEN:
PADTE5
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)