文献
J-GLOBAL ID:200902194673382259
整理番号:03A0076221
イオンビーム支援蒸着によって作製した窒化炭素薄膜の機械的性質に及ぼすArイオンの効果
Ar Ion Effect on Mechanical Properties of Carbon Nitride Films Prepared by Ion-Beam-Assisted Deposition.
著者 (3件):
OHTA H
(Graduate school of Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
MATSUMURO A
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TAKAHASHI Y
(Mie Univ., Tsu, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
41
号:
12
ページ:
7455-7461
発行年:
2002年12月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)