文献
J-GLOBAL ID:200902194972846792
整理番号:99A1024019
ガス蒸着法によって形成された直接蒸着圧電厚膜の電気特性 蒸着膜の焼鈍効果
Electrical Properties of Direct Deposited Piezoelectric Thick Film Formed by Gas Deposition Method. Annealing Effect of the Deposited Films.
著者 (5件):
AKEDO J
(A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
,
MINAMI N
(A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
,
FUKUDA K
(Honda Engineering Co. Ltd., Saitama, JPN)
,
ICHIKI M
(A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
,
MAEDA R
(A.I.S.T., M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
資料名:
Ferroelectrics
(Ferroelectrics)
巻:
231
号:
1/4
ページ:
873-880
発行年:
1999年06月
JST資料番号:
D0777A
ISSN:
0015-0193
CODEN:
FEROA8
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)