文献
J-GLOBAL ID:200902195558624016
整理番号:95A0910832
選択的エッチバック法による小接合の新作製法
New Fabrication Process for Small Junctions Using a Selective Etch-Back Technique.
著者 (4件):
KODAIRA S
(Kisarazu National Coll. Technol., Chiba, JPN)
,
SHOJI A
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
KOHJIRO S
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
KIRYU S
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
34
号:
9A
ページ:
L1127-L1129
発行年:
1995年09月01日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)