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著者 (4件)：
資料名：
巻： 178 ページ： 250-254 発行年： 1994年11月
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902197188372449
整理番号：95A0093497
種々のMo-Siターゲットに関するスパッタリング速度の研究
Sputtering rate studies on different Mo-Si targets.
UTSUNO F
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
MORI Y
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HAYASHI A
(Asahi Glass Co., Ltd., Kanagawa-ken, JPN)
,
YASUI I
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻： 178 ページ： 250-254 発行年： 1994年11月
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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