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文献
J-GLOBAL ID:200902198612520891   整理番号:94A0806660

DCバイアス磁気多重極によるECRイオン源のイオンエネルギー制御

Ion energy control in ECR ion source by DC bias magnetic multipole.
著者 (8件):
秋津哲也
(山梨大 工)
松沢秀典
(山梨大 工)
小川栄二
(山梨大 工)
宮下大幸
(山梨大 工)
水野真克
(山梨大 工)
佐々木正巳
(日電ANELVA)
大沢文雄
(日電ANELVA)
酒井正
(日電ANELVA)

資料名:
電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)

巻: EP-94  号: 57-63  ページ: 27-36  発行年: 1994年08月20日 
JST資料番号: Z0951A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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