文献
J-GLOBAL ID:200902198871089287
整理番号:99A0587156
エネルギー分解質量分析装置により測定したイオン化RFスパッタリングにおけるイオンエネルギー分布に及ぼすイオン化力の影響
Effects of ionization power on ion energy distribution in ionized r.f. sputtering measured by an energy-resolved mass spectrometer.
著者 (5件):
KUSANO E
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
KASHIWAGI N
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
KOBAYASHI T
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
NANTO H
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
KINBARA A
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
108/109
号:
1/3
ページ:
177-181
発行年:
1998年10月10日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)