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著者 (1件)：
資料名：
巻： 9 号： 2 ページ： 157-170 発行年： 2000年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902199120952989
整理番号：00A0833101
調整できる双安定のMEMS 理論と実験
On a Tunable Bistable MEMS-Theory and Experiment.
SAIF M T A
(Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 9 号： 2 ページ： 157-170 発行年： 2000年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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