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著者 (4件)：
資料名：
巻： 2438 ページ： 889-899 発行年： 1995年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902199327357487
整理番号：95A0854500
Vacuum photoresists on the base of phenoxazine and their lithographic properties.
AGABEKOV V E
(Inst. Physical Organic Chemistry, Belarus Acad. Sci., Minsk, SUN)
,
IGNASHEVA O E
(Inst. Physical Organic Chemistry, Belarus Acad. Sci., Minsk, SUN)
,
GUDIMENKO Y I
(Inst. Physical Organic Chemistry, Belarus Acad. Sci., Minsk, SUN)
,
BELYATSKY V N
(Inst. Physical Organic Chemistry, Belarus Acad. Sci., Minsk, SUN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 2438 ページ： 889-899 発行年： 1995年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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