文献
J-GLOBAL ID:200902199642499486
整理番号:98A0351129
化学分析装置の微細加工のための低温接着技術
Low temperature bonding for microfabrication of chemical analysis devices.
著者 (5件):
WANG H Y
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
,
FOOTE R S
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
,
JACOBSON S C
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
,
SCHNEIBEL J H
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
,
RAMSEY J M
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
資料名:
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻:
B45
号:
3
ページ:
199-207
発行年:
1997年12月15日
JST資料番号:
T0967A
ISSN:
0925-4005
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)