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著者 (11件)：
資料名：
巻： 2007 号： 春季(CD-ROM) ページ： C42 発行年： 2007年03月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902200123539894
整理番号：07A0701004
多価Arビームを用いたイオンビームリソグラフィー(第4報)-多価Arイオンの照射量依存性-
岩満慎吾
(高知工科大 工)
,
長尾守
(高知工科大 工)
,
PAHLOVY S.A.
(高知工科大 工)
,
西村光平
(高知工科大 工)
,
百田佐多生
(高知工科大 工)
,
野尻洋一
(高知工科大 工)
,
谷口淳
(東京理大)
,
宮本岩男
(東京理大)
,
中尾高顕
(東京理大)
,
森田昇
(富山大 工)
,
川堰宣隆
(富山県工技セ)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2007 号： 春季(CD-ROM) ページ： C42 発行年： 2007年03月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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