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文献
J-GLOBAL ID:200902201093987320   整理番号:07A0234946

波長1300及び2100nmのフェムト秒レーザパルスを照射したシリコン上のサブ波長表面構造

Sub-wavelength surface structures on silicon irradiated by femtosecond laser pulses at 1300 and 2100 nm wavelengths
著者 (3件):
CRAWFORD T.h.r.
(Dep. of Engineering Physics, McMaster Univ., Hamilton, Ontario, Canada L8S 4L7)
HAUGEN H.k.
(Dep. of Engineering Physics, McMaster Univ., Hamilton, Ontario, Canada L8S 4L7)
HAUGEN H.k.
(Dep. of Physics and Astronomy, McMaster Univ., CAN)

資料名:
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

巻: 253  号: 11  ページ: 4970-4977  発行年: 2007年03月30日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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