文献
J-GLOBAL ID:200902201093987320
整理番号:07A0234946
波長1300及び2100nmのフェムト秒レーザパルスを照射したシリコン上のサブ波長表面構造
Sub-wavelength surface structures on silicon irradiated by femtosecond laser pulses at 1300 and 2100 nm wavelengths
著者 (3件):
CRAWFORD T.h.r.
(Dep. of Engineering Physics, McMaster Univ., Hamilton, Ontario, Canada L8S 4L7)
,
HAUGEN H.k.
(Dep. of Engineering Physics, McMaster Univ., Hamilton, Ontario, Canada L8S 4L7)
,
HAUGEN H.k.
(Dep. of Physics and Astronomy, McMaster Univ., CAN)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
253
号:
11
ページ:
4970-4977
発行年:
2007年03月30日
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)