文献
J-GLOBAL ID:200902201129005898
整理番号:06A0305863
圧電マイクロマニプレータにおけるシリコンテクノロジー力センサの製作,モデリングおよび集積化
Fabrication, modeling and integration of a silicon technology force sensor in a piezoelectric micro-manipulator
著者 (5件):
PEREZ Ricardo
(Lab. d’Automatique de Besancon-LAB, UMR CNRS 6596-ENSMM/UFC, 25 Rue Alain Savary, 25000 Besancon, FRA)
,
CHAILLET Nicolas
(Lab. d’Automatique de Besancon-LAB, UMR CNRS 6596-ENSMM/UFC, 25 Rue Alain Savary, 25000 Besancon, FRA)
,
DOMANSKI Krzysztof
(Inst. of Electron Technology-ITE, Al. Lotnikow 32/46, 02-668 Warszawa, POL)
,
JANUS Pawel
(Inst. of Electron Technology-ITE, Al. Lotnikow 32/46, 02-668 Warszawa, POL)
,
GRABIEC Piotr
(Inst. of Electron Technology-ITE, Al. Lotnikow 32/46, 02-668 Warszawa, POL)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
128
号:
2
ページ:
367-375
発行年:
2006年04月19日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)