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著者 (5件)：
資料名：
巻： 127 号： 5 ページ： 297-302 発行年： 2007年05月01日
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902201177855259
整理番号：07A0419695
圧電駆動型RF-MEMS可変キャパシタの電気特性
西垣亨彦
(東芝 研開セ)
,
長野利彦
(東芝 研開セ)
,
阿部和秀
(東芝 研開セ)
,
板谷和彦
(東芝 研開セ)
,
川久保隆
(東芝リサーチ・コンサルティング)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 127 号： 5 ページ： 297-302 発行年： 2007年05月01日
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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