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文献
J-GLOBAL ID:200902201342095060   整理番号:08A0900239

超精密加工用3軸制御ファストツールサーボの開発(第3報)-工具の高速制御によるマイクロ光学デバイス金型の高速加工-

Development of a Three Axis Controlled Fast Tool Servo for Ultra Precision Machining (3rd Report)-High-speed Machining of Dies for Micro-Optical Devises Using High-Speed Tool Motion Control-
著者 (5件):
和田紀彦
(松下電器産業)
高橋正行
(松下電器産業)
田代功
(松下電器産業)
森脇俊道
(摂南大 工)
中本圭一
(大阪大 大学院)

資料名:
精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)

巻: 74  号:ページ: 971-975  発行年: 2008年09月05日 
JST資料番号: F0268B  ISSN: 1348-8716  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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