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資料名：
巻： 106 号： 135(NLP2006 22-33) ページ： 41-45 発行年： 2006年06月26日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902203267765650
整理番号：06A0668378
マイクロカンチレバの自励発振特性と自己検知自己駆動型AFMマイクロカンチレバの実現に向けた検討
Characteristic of a Self-excited Micro Cantilever and a Self-detection Self-actuation-type Micro Cantilever for AFM
林圭一
(筑波大)
,
小林健
(産業技術総合研)
,
黒田雅治
(産業技術総合研)
,
藪野浩司
(筑波大)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 106 号： 135(NLP2006 22-33) ページ： 41-45 発行年： 2006年06月26日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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