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著者 (3件)：
資料名：
巻： 42 号： 6B ページ： 4031-4036 発行年： 2003年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902203289529829
整理番号：03A0506440
低開口数光投影リソグラフィーによる銅被覆プラスチック基板上への低コスト高性能微細加工法
Low-Cost and High-Performance Micro-Fabrication Method Using Low Numerical-Aperture Optical Projection Lithography on Copper-Clad Plastic Boards
HIROTA K
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
OZAKI M
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
HORIUCHI T
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 42 号： 6B ページ： 4031-4036 発行年： 2003年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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