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著者 (3件)：
資料名：
号： 33 第1部 ページ： 111-118 発行年： 2003年03月20日
JST資料番号： X0305A ISSN： 0286-8571 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902204915546990
整理番号：03A0338349
SiCのスライシングおよび研磨加工に伴う欠陥に関する研究
Research on crystalline defects introduced by slicing and polishing SiC polycrystalline.
河合伸泰
(福井工大)
,
後藤徹
(福井工大)
,
脇浜智
(福井工大 大学院)
資料名：
福井工業大学研究紀要
(Memoirs of Fukui University of Technology)
号： 33 第1部 ページ： 111-118 発行年： 2003年03月20日
JST資料番号： X0305A ISSN： 0286-8571 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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