文献
J-GLOBAL ID:200902206295603142
整理番号:04A0395252
rf-スパッタリングしたCr-B-N薄膜の組織および機械的性質に及ぼす窒素の影響
Influence of nitrogen on the structure and mechanical properties of r.f.-sputtered Cr-B-N thin films
著者 (3件):
ZHOU M
(Osaka Univ., Ibaraki, JPN)
,
NOSE M
(Takaoka National Coll., Takaoka, JPN)
,
NOGI K
(Osaka Univ., Ibaraki, JPN)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
183
号:
1
ページ:
45-50
発行年:
2004年05月01日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)