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資料名：
巻： 46 号： 9A ページ： 5711-5714 発行年： 2007年09月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902207543928874
整理番号：07A0953265
原料交互供給型有機金属気相エピタキシャル法によって成長させたn-AlGaNの結晶性の改善
Improvement of Crystal Quality of n-AlGaN by Alternate-Source-Feeding Metal Organic Vapor Phase Epitaxy
ISONO Ken-ichi
(Kogakuin Univ., Tokyo, JPN)
,
NIIKURA Eiichiro
(Kogakuin Univ., Tokyo, JPN)
,
MURAKAWA Koichi
(Kogakuin Univ., Tokyo, JPN)
,
HASEGAWA Fumio
(Kogakuin Univ., Tokyo, JPN)
,
KAWANISHI Hideo
(Kogakuin Univ., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 46 号： 9A ページ： 5711-5714 発行年： 2007年09月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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