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著者 (2件)：
資料名：
巻： 7274 号： Pt.2 ページ： 72741Y.1-72741Y.8 発行年： 2009年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902208217419176
整理番号：09A0561488
32nm以下用のの高次のピッチ分割の解析
Analysis of higher order pitch division for sub-32nm lithography
XIE Peng
(Rochester Inst. Technol., NY)
,
SMITH Bruce W.
(Rochester Inst. Technol., NY)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 7274 号： Pt.2 ページ： 72741Y.1-72741Y.8 発行年： 2009年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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