文献
J-GLOBAL ID:200902209818627260
整理番号:03A0615737
異なる放電機構を考慮した短-ギャップESDのモデリング
Modeling of Short-Gap ESD Under Consideration of Different Discharge Mechanisms
著者 (3件):
BOENISCH S
(Technical Univ. Berlin, Berlin, DEU)
,
KALKNER W
(Technical Univ. Berlin, Berlin, DEU)
,
POMMERENKE D
(Univ. Missouri-Rolla, MO, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻:
31
号:
4,Pt.2
ページ:
736-744
発行年:
2003年08月
JST資料番号:
D0036B
ISSN:
0093-3813
CODEN:
ITPSBD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)