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文献
J-GLOBAL ID:200902210312457101   整理番号:04A0649697

高周波素子用途の高誘電率薄膜や材料集積法の科学と技術

Science and Technology of High Dielectric Constant Thin Films and Materials Integration for Application to High Frequency Devices
著者 (8件):
AUCIELLO O
(Argonne National Lab., IL, USA)
SAHA S
(Argonne National Lab., IL, USA)
KAUFMAN D Y
(Argonne National Lab., IL, USA)
STREIFFER S K
(Argonne National Lab., IL, USA)
FAN W
(Argonne National Lab., IL, USA)
KABIUS B
(Argonne National Lab., IL, USA)
IM J
(Argonne National Lab., IL, USA)
BAUMANN P
(Argonne National Lab., IL, USA)

資料名:
Journal of Electroceramics  (Journal of Electroceramics)

巻: 12  号: 1/2  ページ: 119-131  発行年: 2004年01月 
JST資料番号: W1123A  ISSN: 1385-3449  CODEN: JOELFJ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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