文献
J-GLOBAL ID:200902210312457101
整理番号:04A0649697
高周波素子用途の高誘電率薄膜や材料集積法の科学と技術
Science and Technology of High Dielectric Constant Thin Films and Materials Integration for Application to High Frequency Devices
著者 (8件):
AUCIELLO O
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
SAHA S
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
KAUFMAN D Y
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
STREIFFER S K
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
FAN W
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
KABIUS B
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
IM J
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
BAUMANN P
(Argonne National Lab., IL, USA)
資料名:
Journal of Electroceramics
(Journal of Electroceramics)
巻:
12
号:
1/2
ページ:
119-131
発行年:
2004年01月
JST資料番号:
W1123A
ISSN:
1385-3449
CODEN:
JOELFJ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)