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著者 (6件)：
資料名：
巻： 202 号： 22-23 ページ： 5668-5671 発行年： 2008年08月30日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902212132497647
整理番号：08A0919762
マルチロッド電極を使用して高い圧力で作製した大面積のSiH4/H2のVHFプラズマ
Large area SiH4/H2 VHF plasma produced at high pressure using multi-rod electrode
YAMAUCHI Yasuhiro
(Nagasaki Shipyard & Machinery Works, Mitsubishi Heavy Industries Ltd., Isahaya, Nagasaki, 854-0065 Japan)
,
TAKEUCHI Yoshiaki
(Nagasaki Res. & Dev. Center, Mitsubishi Heavy Industries Ltd., Fukahori, Nagasaki, 851-0392 Japan)
,
TAKATSUKA Hiromu
(Nagasaki Shipyard & Machinery Works, Mitsubishi Heavy Industries Ltd., Isahaya, Nagasaki, 854-0065 Japan)
,
KAI Yuichi
(Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu Univ., Kasuga, Fukuoka 816-8580 Japan)
,
MUTA Hiroshi
(Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu Univ., Kasuga, Fukuoka 816-8580 Japan)
,
KAWAI Yoshinobu
(Res. Inst. for Applied Mechanics, Kyushu Univ., Kasuga, Fukuoka 816-8580 Japan)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 202 号： 22-23 ページ： 5668-5671 発行年： 2008年08月30日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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