文献
J-GLOBAL ID:200902212377998650
整理番号:09A0849843
193nmフォトレジスト中の真空紫外光子の透過深度とC=O結合欠乏のモデリング
Modelling vacuum ultraviolet photon penetration depth and C=O bond depletion in 193 nm photoresist
著者 (3件):
TITUS Monica J
(Univ. California, CA, USA)
,
NEST Dustin G
(Univ. California, CA, USA)
,
GRAVES David B
(Univ. California, CA, USA)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
42
号:
15
ページ:
152001,1-4
発行年:
2009年08月07日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)