文献
J-GLOBAL ID:200902212496701061
整理番号:05A1006024
低温同時焼成セラミック基板に基づくレーザ形状測定装置モジュール
Laser profilometer module based on a low-temperature cofired ceramic substrate
著者 (6件):
HEIKKINEN Veli
(VTT Electronics, Oulu, FIN)
,
HEIKKINEN Mikko
(VTT Electronics, Oulu, FIN)
,
KERAENEN Kimmo
(VTT Electronics, Oulu, FIN)
,
MITIKKA Risto
(VTT Electronics, Oulu, FIN)
,
PUTILA Veli-Pekka
(Polar Electro Oy, Kempele, FIN)
,
TUKKINIEMI Kari
(VTT Information Technol., FIN)
資料名:
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻:
44
号:
9
ページ:
093603.1-093603.7
発行年:
2005年09月
JST資料番号:
B0577B
ISSN:
0091-3286
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)