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著者 (2件)：
資料名：
巻： 70 号： 1 ページ： 138-143 発行年： 2004年01月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902212634927122
整理番号：05A1019009
低開口数投影露光リソグラフィを用いた厚膜レジストパタン形成とマイクロ部品製造への応用
Thick Resist Pattern Replication Using Low Numerical-Aperture Projection Lithography and It’s Application to Fabrication of Micro Components
広田克範
(東京電機大 大学院)
,
堀内敏行
(東京電機大 大学院)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 70 号： 1 ページ： 138-143 発行年： 2004年01月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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